导电的金属基片和多孔金层作为的电容的两个极板，中间 是多空的金属氧化膜。电容的大小取决于极板的大小、极板之间的距 离和极板之间绝缘体的介电常数。除了介电常数之外的两个因素都是固定值，传感器周围的气体会进入到传感器微孔之中，其中水分的高 介电常数使传感器的介电常数发生很大变化，并且这介电常数的变化 主要是由进入氧化膜微孔中的水分引起的，即使是气体中的水分含量变化幅度很小。
01 背景介绍
纳米微孔金属氧化膜露点传感器是美国菲美特(phymetrix)公司于2007 年推出的一款测量气体湿度用的电容型传感器，其***为 Bedros 先生。能够在‐110℃～+20℃的露点温度范围内快速准确地测量气体及液体中的水分含量。
传统的氧化铝传感器，其代表行为上世纪90 年代由Bedros 先生在考撒-深特（cosaxentaur）公司推出的超薄膜 (HTF™) 氧化铝技术，为原GE下属的巴纳（panametrics）及其他公司如特利丹（teledyne）、仕富梅（Servomex）等广泛应用。
另有英国肖氏（shaw）及其派生公司在上世纪60年代研究的Shaw Moisture Meters 及英国米希尔公司的陶瓷氧化铝传感器。
02 产品比较
公司
| 菲美特
| 深特
| 肖氏
| 米希尔
|
原理
| 纳米微孔金属氧化膜 | 超薄膜 (HTF™) 氧化铝
| 氧化铝
| 陶瓷氧化铝
|
露点测量范围
| -110°C～+20°C
| -100°C～+20°C
| -100°C～+20°C
| -100°C～+20°C
|
准确度
| ±2°C
| ±3°C
| ±3°C
| ±3°C
|
相对响应时间
| 快
| 中等
| 快
| 慢
|
线性
| 全量程准确
| 全量程准确
| -60以下偏差大
| 全量程偏差大
|
03 美国菲美特露点仪的技术优势
基本原理
导电的金属基片和多孔金层作为的电容的两个极板，中间 是多空的金属氧化膜。电容的大小取决于极板的大小、极板之间的距 离和极板之间绝缘体的介电常数。除了介电常数之外的两个因素都是固定值，传感器周围的气体会进入到传感器微孔之中，其中水分的高 介电常数使传感器的介电常数发生很大变化，并且这介电常数的变化 主要是由进入氧化膜微孔中的水分引起的，即使是气体中的水分含量变化幅度很小。
独特的结构
纳米微孔结构设计使传感器在水分含量非常少的情况下 利用针对于水分的毛细管作用使传感器内外达到平衡时，内外的水分浓度成指数比例，因此即使传感器外的水分含量变化很小，传感器的电容变化也会很大，这个电容的变化量足以让仪器检测到，因此使传感器能够具有更宽广的测量范围（‐110～+20℃dp），并且响应更灵敏，漂移量更小，耐用性更好。
►美国菲美特公司的露点分析仪采用纳米薄膜同轴电容法原理，测试气体中水份含量，是世界上*先进的技术。
►纳米传感器具有吸附大量水分子的能力，露点可测低至 ‐110℃dp；
►菲美特公司校准实验室可为每台仪器执行 NIST 校准证书标准，保证其精度为± 2℃dp；
►通过传感器干燥室存储机制，响应时间还可以进一步加快，十分钟可以得到测试趋势读数；
►内置的温度传感器和可选压力传感器可进行校准补偿，保证测量的一致性和重复性；
►纳米薄膜进一步保证数据漂移量更小，从而解决了常规电容法测量湿度的难题。
